金属带材的磁控溅射真空抛光的方法和设备的制作方法技术资料下载

技术编号:2927056

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按本发明的设备还可单独地或以组合方式具有以下特征 [22所述清理装置是具有局部机械作用的清理装置, [23所述清理装置由刚性刮刀构成,所述刚性刮刀与所述对电极的活 动表面进行接触, 每个对电极3、 3'配有一刮刀5、 5,,所述刮刀布置在金属带材2 的抛光等离子体幔(ombre)中。刮刀5、 5'固定的实施必须特别精细,以 防在对电极3、 3'和其它安装构件之间形成短路,甚至在室的内表面由剥 离的导电微粒造成金属化之后,更容易形成短路。抗金属化隔板可围绕绝...
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  • 高老师:1.电力电子及应用 2.嵌入式系统应用