技术编号：2927165
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种放电灯保持机构，特别是涉及一种实体大型且大电流化，安装到保持器上的安装作业变得困难的放电灯的保持机构。背景技术 近年来，在半导体或液晶的曝光、其他的微细加工领域中，使用短弧型水银灯作为光刻法用光源的曝光技术多被利用。在光刻法用的曝光中，使用的是可以有效率地放射光刻胶具有感度的波长365nm(i线)的光的水银灯，而且，在液晶或印刷基板的曝光中，使用放射波长350nm～450nm的光的水银灯。水银灯中封入有水银作为发光物质，并且装入有氩、氪、氙等...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。