放电灯的制作方法技术资料下载

技术编号:2927990

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本发明涉及放电灯。背景技术 现有放电灯有许多种,在发光管内封入有水银的高压水银灯中,尤其是短弧型高压水银灯具有放出波长为365nm的i线,或波长为435nm的g线的发光特性,因而被作为例如半导体晶片、液晶基板等曝光处理所使用的曝光装置用的光源使用。在这种短弧型高压水银灯中,被强烈要求高输出化,以便以高处理效率执行希望的曝光处理。通常,为了使高压水银灯为高输出的灯,将额定功率设定得较大,但在该情况下,通常额定电流也变大,其结果产生如下问题尤其是被直流点灯的高...
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  • 高老师:1.电力电子及应用 2.嵌入式系统应用