技术编号：2933806
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具有高亮度的金刚石电子源和制造该金刚石电子源的 方法，在该金刚石电子源中，在其尺寸使在微加工工序中难以进行抗 蚀剂涂布的柱状金刚石单晶的一端形成仅仅一个尖锐末端，作为在电 子显微镜、电子束曝光装置或其他电子束装置中使用的电子发射点。背景技术金刚石以负电子亲和势(NEA)状态或弱正电子亲和势(PEA) 状态存在，因此被认为是良好的电子发射材料。已提出了涉及使用金 刚石以及利用金刚石特性的电子发射元件或电子发射元件的制造方法 的很多建议。然而，为了将...
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