技术编号：29356464
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及功能材料，具体涉及一种石墨烯功能化硅基探针的制备方法。背景技术.近年来，石墨烯因其优秀的物理化学性能而引起了全世界的极大关注，包括光学性能，电学性能和热学性能。在对石墨烯的性能和潜在应用进行了广泛的探索之后，石墨烯研究的重点目前集中在实现石墨烯材料的实际应用，包括探针，透明电极，传感器，场效应晶体管，电磁衰减材料等等。有几种方法可以在金属或介电基底上生长高质量的石墨烯薄膜，比如氧化还原法，外延生长法，和化学气相沉积法(cvd)。其中，cvd是目前最常用的合成石墨烯薄膜的方法。其主...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。