技术编号：2935723
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及照射紫外线的短弧型等放电灯，特别涉及在放电灯的 电极前端锥部设有散热用放射状槽的电极结构。背景技术以往，在形成半导体的布线图案时，将短弧型等放电灯用作照射 紫外线的光源。这种放电灯，阳极经由电极棒被石英制的密封管保持在 放电空间内，在使阳极向上或向下的状态下，垂直点灯来使用。点亮放 电灯时，从阴极发送来的电子与阳极冲撞变成高热状态，阴极蒸发而消 耗。当电极消耗时，由于热对流，放电灯的内壁产生黑化，特别是从发 光管中央部起上部侧的内管壁产生黑化。为...
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