技术编号：2935948
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及离子束蚀刻方法和离子束蚀刻装置。背景技术 已知一种离子束蚀刻方法，其通过向被加工物的表面照射离子束来对该被加工物实施蚀刻(例如，参照日本特表2002-510428号公报)。这种离子束是，通过把在离子源的放电容器内所生成的等离子体中的离子，用引出电极引出而获得的。但是，如果为了引出离子束而在引出电极上施加电压，则存在着引出电极因放电容器内所生成的等离子体的热量而发生变形的危险。例如，在用由三个金属板组成的引出电极的场合，由于从等离子体供给到各金属板...
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