技术编号：2936113
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属薄膜材料制备，具体涉及一种用于薄膜材料合成的直流放电原子束源。背景技术 自从美国加州大学E.L.Knuth及其合作者在1969年初用弧热喷射束源技术成功产生氦原子束以来，已有几个研究小组对这种能够产生高密度、低能量、高方向性中性原子束的束源进行了研制；其中美国爱荷华大学的K.R.Way等人用弧热束源在氩弧中分解氢气，产生原子态氢束；美国STEVENS技术研究所的E.C.Samano等人对Way等人的弧热束源进行了改进在用纯氢气产生氢原子束；只有美国...
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