技术编号：2939348
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用在离子注入机设备中的离子源装置，特别是指一种能引出低熔点金属离子的冷阴极潘宁离子源。背景技术离子注入技术是集成电路、半导体器件、材料改性等研究和生产中不可缺少的一种成熟工艺技术，离子源又是离子注入机中引出可用离子的重要部份，其中冷阴极潘宁源在离子注入机上使用的离子源中具有结构简单、占用一种电源、调节束流方便、工作可靠等优点，因此被广泛地应用在离子注入等领域，但这种离子源仅适用于气态物质，不能引出固态金属离子。发明内容本发明的目的在于，提供一...
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