技术编号：2943826
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及ー种电介质屏蔽放电灯及灯组件。背景技术电介质屏蔽放电灯用于对被处理物(用于半导体、液晶显示装置的玻璃基板等)进行光清洗。现有的电介质屏蔽放电灯以如下方式构成，即，在例如放电管的上表面配置贝塔(ベタ)电极，在下表面配置网状电极，从该网状电极的网眼的间隙射出紫外线(參照专利文献I)。并且，通过将该紫外线照射到被处理物的表面，分解被处理物表面的有机物，从而清洗被处理物。专利文献I 日本特开2000-260396号公报 发明要解决的课题如上所述，在现有的...
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