技术编号：2944207
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及等离子体光源。背景技术术语“高频(HF)等离子体”通常用于指射频RF 1-300MHz)和微波0.3-300GHz)激发的等离子体。大多数用作光源的HF等离子体全部位于HF场施加器内，即在电容或电感电路以及在谐振腔、同轴电缆和波导中维持放电。空气填充的谐振腔装置的缺点是腔体的尺寸由操作的频率来确定。技术上成功的腔体系统被设计为工作在2.4GHz。在低于该频率的适当频率(ISM频段，即工业(I)、科学(S)和医学(M)频段)，腔体和相关联的波导的尺...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。