技术编号：2944345
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种束线式(beam line)离子植入机(ion implanters),尤其涉及一种离子束调整。背景技术束线式离子植入机产生离子束，且使其前往工件以便进行处理。例如，此工件可以是半导体晶圆(semiconductor wafer)或者可接受离子处理以进行材料改性(modification)的其他物体。束线式离子植入机包括产生离子束的离子源以及控制和引导离子束前往工件的多个束线元件。这些束线元件可包括质量分析器(mass analyzer)和位...
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