技术编号：2944616
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是利用精密机械加工技术并结合特定的工艺安排对损坏的半导体设备中某些关键零部件进行翻新、返修的方法，特别涉及一种P5000刻蚀机中阴极内衬的修复工艺。背景技术作为半导体设备中关键的零部件，直冷式阴极内衬工作过程中用三个快速接头与位于内衬顶面的3个凸出接口进行联接，并利用接口根部的3个小平面与快速接头上对应的平面接触进行定位，以保证装配时的精确和快速安装。因与快速接头的接触面积小，直冷式阴极内衬体积、重量大，使直冷式阴极内衬一旦有其中I个接触平台出现不平...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。