技术编号：2945167
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于将防着板安装在等离子体处理装置及离子束照射装置中所使用的等离子体生成容器内部的防着板支承部件以及具有该防着板支承部件的离子源。背景技术在被称为等离子体CVD装置或PLAD的等离子体掺杂装置等等离子体处理装置、离子注入装置及离子束定向装置等离子束照射装置中，为了防止等离子体生成容器内壁受到腐蚀及高效地进行等离子体生成容器内的清洗，沿着等离子体生成容器内壁设置有如专利文献I的图3所示的、可装拆的衬里(也称为衬板、防着板)。专利文献I 日本专利公开...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。