技术编号：2945963
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及带电粒子束系统并且具体地涉及一种用于离子束系统的滤质器。背景技术一些聚焦离子束(FIB)柱旨在用于与发射多个离子种类的离子源一起使用。为了选择用于将聚焦到衬底上的束的这些离子种类中的仅一种，FIB柱通常将包括滤质器。一类滤质器(“Wien过滤器”)使用交叉电和磁场(ExB)来偏转非所需离子种类离轴，由此使它们撞击质量分离孔(mass-separation aperture)。这类过滤器也称为“ExB过滤器”。设置电和磁场的相对强度使得所需离子种类...
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