技术编号：2946594
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于传送基板的装置，更具体而言，涉及一种能够通过上面放置有基板的托盘而在真空室中传送基板的装置，所述装置包括用于控制基板传送速度的加速/减速单元。背景技术—般而言,用于制造液晶显示器(liquid crystal display ;LCD)器件、等离子体显不面板(plasma display panel ；PDP)器件、场致发射显不器(field emission display ；FED)器件、电致发光显示器(electro lumines...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。