技术编号:29474001
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及光学薄膜检测技术领域,具体涉及一种检测双层膜的各膜层厚度均匀性的方法。背景技术.随着光学技术的发展,光学系统设计日益精密,对光学元件的性能要求越来越高,为此通常需要在光学元件表面镀制光学薄膜,以获得高反射率、高透过率、高偏振比等特殊光学性能要求。对于较大口径光学镀膜镜片而言,通光口径范围内的膜层厚度均匀性是其主要技术指标之一,膜厚均匀性不好,不仅会导致镜片上不同位置光学性能不一致,同时会导致光学元件光谱波前及面型变差。因此,必须严格控制光学元件的厚度分布。.ibs(离子束溅射)...
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