技术编号:29482451
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于金刚石加工技术领域,具体涉及一种微波等离子腔体双密封炉门结构。背景技术.mpcvd法是制备高品质金刚石的首选方法,mpcvd法与产生等离子体的其他方法相比,微波激发的等离子体具有无电极物质污染、可控性好、等离子体密度高等一系列优点。金刚石mpcvd装置经历了从早期的石英管式、石英钟罩式,到后期的圆柱谐振腔式、椭球谐振腔式等多个发展阶段。金刚石mpcvd装置的核心部件是用于产生微波等离子体的谐振腔结构以及谐振腔的真空密封结构,优异的真空性能直接决定金刚石的生产品质。因此,微波谐...
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