技术编号：2948453
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种质谱分析单元。本申请以日本特愿2007-129408号作为基础申请，并引入其内容。背景技术在半导体装置、FPD (Flat Panel Display)等的制造工序中，会利用各种各样的真空装置。为了对这些真空装置进行工艺管理，会使用四极质谱分析装置。这种质谱分析装置是对分析对象气体中包含的各种各样的物质的各质荷比(质量数/电荷数)的分压进行测量的装置。而且，近年来，其使用已涉及材料分析、蛋白质等生物高分子化合物的分析、安全领域等诸多方面，需求...
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