技术编号：2950643
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及用于气体放电源的电极装置，其包括可绕旋转轴线旋转的至少一个电极轮，所述电极轮具有在两个侧表面之间的外周向表面。本发明还涉及包括这种电极装置的气体放电源和操作带有这种电极装置的气体放电源的方法。 背景技术 使用气体放电源作为例如EUV辐射(EUV极端紫外线)或软x射线的光源。特别地在EUV光刻领域中需要发出EUV辐射和/或软X射线的辐射源。从脉动电流所产生的热等离子体发出辐射。已知强EUV辐射源通过金属蒸汽来操作以产生所需的等离子体。这种EU...
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