校准装置误差测量系统、方法及测试系统校准方法、系统与流程技术资料下载

技术编号:29522735

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.本发明涉及集成电路测试系统计量技术领域,尤其是涉及一种校准装置误差测量系统、方法及测试系统校准方法、系统。背景技术.武器装备或重点型号任务中使用的数字集成电路主要通过数字集成电路测试系统保障其性能和质量,因此数字集成电路测试系统作为现代武器装备的保障设备对其准确的计量具有举足轻重的地位。.在对数字集成电路测试系统进行校准时,对于直流电流参数校准通常采用加压测流的方法,即通过操作数字集成电路测试系统,使其发出指定大小的电压,电压加载到与测试系统外接的标准电阻上,此时数字集成电路测试系统回读...
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