技术编号：2952901
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有多个功率供给单元的等离子功率供给装置以及一种用于运行具有多个功率供给单元的等离子功率供给装置的方法。背景技术在平板显示器(FPD)制造工艺中，在多个步骤中对衬底——例如玻璃板的较大表面均勻地进行镀膜。由建筑玻璃镀膜已知的是，在等离子工艺中借助于溅射/阴极溅射对较大的玻璃表面进行镀膜，更确切地说，既反应地又常规地进行镀膜。为此，借助电流源或者电压源产生等离子体，所述等离子体从目标材料中脱离，所述目标材料沉积在衬底—— 例如玻璃板上。在沉积之...
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