技术编号：2953950
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用来测量被测设备(DUT)的导体上的电信号的电探针设 备。更具体而言，本发明涉及具有光源置于其上的探针设备。背景技术探针设备是具有两条臂的设备，这两条臂有时被称为"基片 (substrate)"或"刀片(blade)"，这两条臂在臂的远端彼此机械耦 合，并且具有固定于臂的近端的导电尖(tip)。在测试DUT期间，将这 些尖放置为与DUT的各个导体接触，用于读出(sense)通过DUT的导体 传播的电信号。探针设备通常是可调节的以使探针尖能更靠近以...
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