技术编号：2957268
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种紫外光的平板光源，尤其涉及一种产生深紫外光的等离子体平板光源，具体地说是一种带有Mg0薄膜的产生147nm和172nm紫 外光的等离子体平板光源。背景技术紫外光源在表面处理如表面活化，表面改性，表面清洁，有机物的分 解和氧化方面有着重要的应用，在半导体制造业，紫外光源也有非常广泛 的用途，如采用光化学气相沉积(Photo-CVD)制作膜层，用紫外光改善化 学结构，表面激活，等等。通常的紫外光波长为25化m、 302nm, 365nm,这 些紫...
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