技术编号：2958229
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及平板显示(TFT-IXD和AM0LED)、半导体、太阳能等行业，特别涉及ー种高真空环境下的将加热器电极从真空腔室中引出的结构，也可适用于将真空腔室中其他电器的电源引出。背景技术真空设备腔室内的加热系统，需要通过特殊结构的电极引出装置才能将电源线引出到腔室外，此结构既要保证真空密封效果，又要保证电缆线与金属腔室的绝缘。另外，カロ 热器是易耗品，需要定期更换。通常的电极引出装置采用加热器端ロ特殊结构设计，既要保证与引出装置端金属密封，又要保证加热...
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