技术编号：2958627
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及离子束的产生，其中在一离子源中将一种或多种气态或气化的进料离子化。本发明还涉及一种用于操作一离子源来产生一离子束以对半导体衬底及平板显示器的衬底进行离子植入的方法及装置。具体而言，本发明涉及到延长用于产生离子束的系统的生产时间(即“正常运行时间”)。背景技术 离子束是由从离子源提取出的离子形成。离子源通常采用一连接至高电压电源的离子化室。所述离子化室与一离子化能量源相关联，所述离子化能量源例如(举例而言)为电弧放电、来自发射电子的阴极的高能电子、...
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