技术编号：2961325
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本文涉及一种场发射真空微电子器件，场发射极和栅极间距离小于电子在真空中的自由程，电子在真空中以弹导方式输运，传输速度快，具有相干性好、透镜效应容易、截止频率高等优点，应用前景开广。主要用于超快开关、微波放大器和发生器、新型光源和显示器、新型电子束光刻机，高强度电子源或离子源等。九十年代后，引起各国科学家的关注。本发明主要叙述一种利用核径迹蚀刻技术制造的场发射真空微电子器件，包括场发射真空微电子二极管、三极管、多极管器件以及真空场发射显示器等。背景技术 场发...
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