技术编号：2961408
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种超高真空泵，特别是一种能很方便地获得清洁超高真空的微型冷阴极溅射离子泵。现有技术中的微型超高真空泵如美国VARIAN公司生产的2升／秒微型泵，它主要包括泵体、磁钢和电源等，在泵体内有一个阳极筒，阳极筒的上下端对称地放置有两块阴极板，工作时当阳极接有直流高压和外加与阳极筒轴线平行的磁场时，能在阳极筒内和两阴极板之间形成潘宁(Penning)放电的电子云，电子云中高速运动的电子即可把阳极筒内的气体分子碰撞解离，由此达到抽除气体的功能。该泵可使...
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