技术编号：2961662
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。美国政府对此发明及一定场合下的权利有一个已付清的特许，要求专利拥有者在由国家科学基金会授予的授权号ISI8521280的条款规定的合理条件下许可其他人。本发明涉及离子光学领域，比如用于用来形成精细聚焦的离子束的装置中，通常用于显微制造和显微分析的领域，比如半导体中的离子注入、材料的显微机械加工、离子束平版印刷术以及辅助离子显微技术。在现有技术中，用于产生细束的装置一般包括一针型粒子源，该粒子源可以发射电子或使周围气体离子化，包括低温下的表面电离，或者最通常...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。