技术编号：2962286
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般涉及用等离子体在真空腔体中处理工件的加工器，尤其涉及具有多个各自支撑的、把腔体外产生的射频场耦合到腔体中激励等离子的介电窗口和/或对射频场产生感应的线圈的加工器，其中线圈包括多个具有相同电学长度的部分，每个部分包括一个与另一部分的元件并联连接的元件。背景技术 为了从真空腔体外侧的装置提供射频场(r.f.field)，已经设计了一些不同的结构，把腔体内的气体激励到等离子体状态。射频场是由包括电容电极的电场源、包括电子回旋加速共振器的电磁场源和包括线...
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