技术编号：2962485
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种采用电子发射装置的电子束设备，还涉及驱动这种设备的方法。有两种已知的电子发射装置热离子型和冷阴极型。其中，冷阴极型所指的装置包括场致发射型(下文称作FE型)装置，金属/绝缘层/金属型(下文称作MIM型)电子发射装置和表面传导电子发射装置。FE型装置的例子包括由W.P.Dyke & W.W.Dolan(“Field Emizsion”，Advance in Eleotron Physics，8，89(1956)和C.A.Spin...
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