技术编号：2962492
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明总的来说涉及一种采用旋转圆柱形溅射靶的磁控管，更具体地说涉及最大限度地减小这种磁控管中电弧形成的结构和技术。圆柱形磁控管正广泛地用于在衬底上溅射膜。一个例子是为了滤除太阳能部分使之不穿过玻璃而在玻璃衬底的表面上淀积电介质和金属层的叠层。这一衬底置于包含至少一个通常是两个旋转圆柱形靶的真空腔中，旋转圆柱形靶在其外表面包含溅射的材料。通常将惰性和活性气体二者都引入腔中。溅射靶与或是真空腔的外壳或是单独的阳极之间施加了电压，该电压产生等离子体，通过位于靶中...
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