技术编号：2962738
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及超高真空用溅射离子泵。以往众所周知的溅射离子泵，如附图说明图1所示，被构成为在两片阴极板C、C之间配置把多个中空圆筒状体并排放置两形成的被称之为多单元阳极(multicellanode)的阳极A，利用彭宁(Penning)放电对阴极板进行溅射生成活性面，再在该活性面上吸附或埋入气体分子，或者使之捕获于阳极面上进行排气。作为构成多单无阳极的阳极构造，除去图中所示的中空圆筒状体之外，人们还知道有多角形中空体，或如图2所示，把多片的板状构件上下重叠起来...
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