技术编号：2962831
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般涉及集成微电子器件，并且尤其是涉及具有特定简化结构的器件，它适合于用于显示的及适合于制备这样的微电子器件的简化方法，包括用于在基片中密封地封闭腔体的制备方法。由于场发射显示器的制造成本低，工艺简单，功耗低，亮度高，且能改善视角，所以被认为发展前景很好，是液晶显示器的很好替代品。微电子场发射器件更一般作为半导体器件的替代品也有很多应用，如高性能、和能从更广泛的材料来制备但对材料的纯度不需严格控制，但是其制备工艺和设备与半导体制备中所用的相似。199...
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