技术编号：2962911
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于阴极溅射装置的管形靶，靶上具有溅射材料管和支承管，其中溅射材料管借此而有一环状横剖面和一个由其同心包绕的支承管的纵断面，而同时连接于阴极溅射装置的支承管伸出并连接在由溅射材料管制成的靶的两个端部中的至少一个端部。本发明还涉及一种生产该靶的方法。EP-0500774B1描述了一种在真空箱中用一个圆柱形的中空靶来涂敷较大平面的溅射装置，其中，该靶在它所环绕的纵轴线上保持旋转状态。在中空靶的内部设有一个冷却剂管道和一较长跨度的磁性结构，它随靶共...
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