一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风技术资料下载

技术编号:29702185

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.本发明属于电子技术领域,更进一步涉及声电转换技术领域中的一种三棱柱衬底及压电振膜部分悬浮设置的压电麦克风。本发明可用于人耳能听见的声波频段,在满足声电转换的情况下,实现对声波甚至微弱声波信号的感知与采集,同时具有一定的方向识别性,适用于各类电子设备对各种可听声音信号的采集。背景技术.压电麦克风主要与声信号的收集密切相关,其所需的驱动电压、在芯片上的占用面积、受外界环境因素的干扰、信噪比等方面都具良好的可靠性与兼容性而特别适合于目前电子产品高度集成、低功耗发展趋势。然而,由于压电式麦克风本身...
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