技术编号：2978467
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及是一种照明灯具，具体的，涉及一种半导体硅集成制造工艺中硅片目检照明用的强光灯。背景技术半导体硅集成制造工艺流程繁多，其共同特点是要求精确、微细、洁净度极高；如果有一道工艺达不到要求，整片甚至整批硅片就可能报废，损失极大，于是，工艺检测成为必不可少的工序。根据产品设计和工艺设计的要求，在相关工步之后设计安排有相应的工艺检测，各工艺检测的项目和所用设施以及检测的规则(如全检或是抽检等)是不同的。目检是半导体硅集成制造工艺最常用的方法，其方法是在满...
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