技术编号：2979616
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种带电粒子光学系统，其中包括一静电偏转器以偏转至少一带电粒子小射束，该静电偏转器包括第一及第二电极并且所述小射束通过其间，而当于所述电极之间设定一电位差时该小射束会被偏转。本发明进一步有关于此种带电粒子光学系统的使用方式。2、现有技术说明自美国第6，897，458号专利可获知此种带电粒子光学系统的其中一款。该系统是一种无罩式光刻系统。根据此光刻系统，诸如电子的带电粒子的射束在孔径平板中被分割成多个小射束。所述小射束随后聚焦于一期望直径并且通过...
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