技术编号：2979652
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种通过多个小射束来产生一个二级图案以供光刻处理的方法。本发明进一步涉及一种用于在通过一处理器执行时用于执行此方法的计算机可读媒体。本发明进一步涉及一种经配置用于执行此方法的图案产生器。本发明进一步涉及一种用于使用复数个小射束来曝光一目标的带电粒子多小射束系统，其中该系统包括此图案产生器。最后， 本发明涉及一种包括此图案产生器的光刻(lithographic)系统。背景技术在本中广泛地知晓使用黑色及白色写入策略(即，“接通(on) ”及“切断 (...
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