技术编号：2979682
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及带电粒子束装置及其图像显示方法，特别涉及具备成对立体图像观察功能的带电粒子束装置中的三维图像的构建方法。背景技术在扫描电子显微镜所代表的带电粒子束装置中，在要取得三维图像的情况下，使用从不同角度的方向取得的两枚图像、即左眼用的图像和右眼用的图像，交替地显示两个图像(专利文献1)或者使用交叉法、平行法、或使用红蓝眼镜的视差图像法进行立体观察。另外，近年来，开发出使带电粒子束相对于试样倾斜来得到试样的倾斜图像的方式(专利文献2、、或用于三维图像显示方...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。