技术编号：2979912
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于将大量带电粒子小射束引导至图像平面的投射透镜组件。具体地讲，本发明涉及易于控制的健壮且紧凑的投射透镜组件。背景技术美国专利6，946，662公开了用于将大量带电粒子小射束引导至图像平面上的透镜组件。该透镜组件包括多个电极，这些电极具有形成多个带电射束孔径的射束通过区。这些电极沿光路进行堆叠，其中，通过绝缘部件将这些电极进行隔离。在电极的边沿处，所述电极被夹持在一起以形成透镜组件。经由减小电子光学系统，由透镜组件提供的图像被减小并且投射到晶片上...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。