技术编号：2979978
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及从游离器至大的目标面积的离子化气体流的分配。更特别的，本发明涉及对于不相等地划分离子化气体流的新颖方法，及用于不相等地划分离子化气体流的装置，以提升离子更均匀地传递至大的目标面积。背景技术如本领域中已知的许多游离器，离子发射器在一段时间期间接收正电压且在另ー段时间期间接收负电压。因此，这种发射器产生包括正及负离子两者的双极性电荷载子，且这些电荷载子通过某些或其他形式的歧管被引导向目标。分配气体离子的传统的离子流歧管(例如，见线游离器及日本专利JP...
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