技术编号:2986544
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及表面微细加工领域,特指一种基于液晶掩模技术的激光微细加工的方法和装置。背景技术常见的激光表面微细加工技术是采用微细激光束照射工件表面,使被照射部位材料汽化蒸发掉,形成一定的凹坑。通过工作台控制装置使工件按照一定的轨迹移动,在工件表面逐点加工,最终使工件表面达到所要求的微观形貌。这种加工方式一方面效率低下,另一方面要根据不同的表面加工点的排列方式编制相应的程序以便控制工件按一定的轨迹移动。与本发明最为接近的技术是掩模光刻技术。掩模光刻技术根据工件表...
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