技术编号：29866290
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于碳化硅材料技术领域，具体涉及一种半导体悬臂桨产品的碳化硅含量提纯、提升方法。背景技术.悬臂桨是设备中晶圆装载系统的关键部件，可以保证晶圆与炉管的同心度，进而使扩散、氧化更均匀。特别是碳化硅悬臂桨具有高强度、高纯度、高导热、无气孔、耐酸碱腐蚀、高温下无污染、不变形及良好的抗热震稳定性、载重量大等特点，避免了与炉管的直接接触，延长了炉管的使用寿命，解决了其它材质悬臂桨易断裂，载重量小，成本高的问题。.碳化硅悬臂桨包括三个部分，即固定区、过渡区和负载区。其中，固定区是空心并且是带有圆...
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