技术编号：2991662
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及激光束的照射方法及进行这种照射用的激光处理装置。另外，本发明还涉及使用上述激光束照射的半导体器件的制作方法。背景技术 长期以来，通过照射激光束来执行各种加工的激光处理装置以及激光束的照射方法是众所周知的。使用激光束是因为与使用辐射加热或传导加热的热处理相比可以选择性地仅对被照射激光束并吸收其能量的区域加热。例如，执行使用受激准分子激光振荡装置振荡波长400nm或更小的紫外光的激光处理以选择性地局部加热半导体膜，这样可以在几乎不给玻璃衬底带来热损伤...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。