技术编号:29933407
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于先进制造技术领域,涉及一种用于制备线形结构侧向电极的定位装置。背景技术.微纳线形结构因具有高延展性、大比表面积等突出性能,在生物医疗、组织工程、新能源、微纳传感器、柔性显示等多个领域得到了广泛的应用。微纳线形结构要实现功能化,微纳线形结构上的电极至关重要。例如,阵列线性结构两端电极、阵列线性结构表面电极。这些微纳线形结构电极的制备装置发挥了重要的作用。.磁控溅射、蒸镀等方法制备金属电极灵活可控、制备周期短、靶材选择范围广,制备出的电极厚度均匀、致密性高、易于掺杂改性,因此被大量...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。