技术编号：29946658
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。d量测机台的晶圆检测方法、装置、设备及存储介质.技术邻域.本发明涉及线光谱共焦技术领域，尤其涉及一种d量测机台的晶圆检测方法、装置、设备及存储介质。背景技术.传统晶圆检测，以人工显微镜目检和daoi检测为主，针对晶圆盘上成千上万的锡球，人工检测效率低，准确率差，需进行多次复检，才能确保产品稳定；此外针对锡球高度、共面度等检测需求，传统的daoi设备也无法满足检测需求；虽然还有一些d显微镜，能够实现高度测量，但是检测速度远远达不到生产需求，只能用于部分检测或者抽检。因此，如何提高晶...
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