技术编号:2997513
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机电系统(MEMS)加工技术和激光微加工领域,特指强激光冲击微塑性成 形的方法及其装置,采用纳秒脉冲激光辐射金属飞片材料表面,使其表面层气化后形成高温 高压的等离子体,等离子体急剧膨胀爆炸驱动飞片,飞片高速飞行撞击,金属耙材产生冲击 波使其发生微纳尺度的塑性变形。背景技术随着现代科学技术的发展,产品微型化的趋势日趋加快,对微、小型零件的需求量也越 来越大,特别是微机电系统(MEMS)领域的飞速发展,使微成形技术和微型模具制造成为工 业界重点研究...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。