技术编号:30004279
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及光刻胶技术领域,尤其涉及一种自动涂胶管路及其构成的涂胶系统。背景技术.光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一,特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展,更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。.近年来,伴随着生产和技术的不断创新,传统涂胶工艺研发和生产都是依靠人手工来完成,待需要涂胶的晶圆固定在可旋转的工作台上,人工手动倒在所需涂胶晶圆上后工作台旋转。这种涂胶模式,工人劳动强度大,涂胶的效率极低,而且很难保证涂胶的均匀性和胶体厚度的一致性,涂胶精度低,影响晶圆与晶圆...
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