用于干涉测量确定表面形状的测量设备的制作方法技术资料下载

技术编号:30012248

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用于干涉测量确定表面形状的测量设备.本申请要求主张年月日提交的德国专利申请 .的优先权。该专利申请的全部公开内容通过引用并入本申请中。背景技术.本发明涉及用于干涉测量确定测试物的表面的形状的测量设备、涉及校准衍射光学元件的方法、涉及用于干涉测量确定测试物的表面的形状的方法并且涉及用于微光刻曝光设备的投射镜头的光学元件。.对于测试物(诸如微光刻光学元件)的表面形状的高准确干涉测量,通常使用衍射光学布置作为所谓的零光学件。在这种情况下,测试波的波前通...
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